福建省巨量转移关键尺寸测量仪国际招标公告2/13包
福建省巨量转移关键尺寸测量仪国际招标公告2/13包
中航技国际经贸发展有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-11-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:巨量转移关键尺寸测量仪 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-234*****0181/13
招标项目名称:巨量转移关键尺寸测量仪
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 巨量转移关键尺寸测量仪 | 1台 | (1)设备由腔体、测量平台、高分辨率CMOS显微镜、图像处理器、干涉仪和线性马达等构成,,用于测量PR线宽、曝光套刻精度和长寸(长寸测量需要长宽线宽测量仪),并能够自动把曝光套刻精度和长寸的测量数据反馈给曝光机。(2)基板尺寸:(650±0.5)mm×(750±0.5)mm。(3)在设备运行全过程中,玻璃基板上静电电压都需≤±100V | 0730-234*****0181/13 |
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