湖北省等离子增强型化学气相沉积设备-工艺腔国际招标公告2/02包
湖北省等离子增强型化学气相沉积设备-工艺腔国际招标公告2/02包
中航技国际经贸发展有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-02-01在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:等离子增强型化学气相沉积设备-工艺腔 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-244*****0011/02
招标项目名称:等离子增强型化学气相沉积设备-工艺腔
项目实施地点:中国湖北省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 等离子增强型化学气相沉积设备-工艺腔 | 1台 | (1)PECVD(等离子增强型化学气相沉积)工艺用于形成非晶硅层(3Layer);(2)基板尺寸:1500mm (W) × 1850 mm(L) ;基板厚度:0.3~0.8mm;(3)设备可用于生产表面隔离层,覆盖层,非晶硅层薄膜,金属层间绝缘层,层间绝缘层和钝化层薄膜。 | 0730-244*****0011-02 |
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