安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD国际招标公告1/05包
安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD国际招标公告1/05包
苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备名称:PECVD
设备数量:2台
腔体要求:3腔(单腔双片),其中包含:2个SiH4 base,1个TEOS base;
设备原理及用途:PECVD是腔室在低压高温条件下,通入反应气体,形成等离子体,进行化学反应,在硅片表面淀积薄膜。PECVD主要用于产品中二氧化硅、氮化硅的制备。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF28/05
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | PECVD | 2 | 蝶阀控压精度 ≤1.5%。其他参数详见第八章 | 无 |
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