安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜国际招标公告2/03包
安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜国际招标公告2/03包
苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备名称:扫描电镜
设备数量:1台
设备用途:扫描电镜需为全新专用设备,主要用于对微结构形貌和材料进行测量表征,对晶圆工艺监控、器件失效分析以及逆向产品开发中属于关键核心设备。扫描电镜可以对光刻胶的截面形貌和几何尺寸进行测量,对体硅结构的表征分析及刻蚀缺陷进行测量,对表面的工艺残留物及不明来源的异物进行形貌观察和成分表征。扫描电镜对关键结构的剖面尺寸及工艺缺陷进行测量和监控,对工艺要求提供准确的监控分析。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF18/03
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之扫描电镜
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 扫描电镜 | 1 | 配备主动式减震台,在20万倍以上放大倍率成像时,图像显示无明显可观察到的震动波纹。其他参数详见第八章 | 无 |
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