用于与厂家联合研制含自动上下片、真空送料装置、可在晶圆表面蒸发沉积超薄、光滑膜层的金属增强层加工系统...
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中国科学院光电技术研究所2024年6至9月政府采购意向-表面增强层的加工系统预算金额万元人民币 2024-4-18北京
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