主要功能：1）无掩模纳米级精度三维加工；2）全自动可自动拼接6寸及以下硅、石英、氮化镓、蓝宝石等衬底...(硅石在正文或附件中)
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中南大学高性能复杂制造国家重点实验室3D纳米结构分析处理系统招标预告 2022-4-8湖南
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