先进封装光刻机项目
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先进封装光刻机项目
上海微电子装备（集团） (略) （曾用名：上 (略) ，于 2017
年 1 月 20 日登记变更企业名称）成立于 2002 年 3 月，注册地址位于中国（上海）自由贸
易试验区张东路 1525 号，主要经营范围包括半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的
开发、设计、制造、销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机
械设备、零配件、原辅材料的进口业务
上海微电子装备（集团） (略) （曾用名：上 (略) ，于 2017
年 1 月 20 日登记变更企业名称）成立于 2002 年 3 月，注册地址位于中国（上海）自由贸
易试验区张东路 1525 号，主要经营范围包括半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的
开发、设计、制造、销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机
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