上海微电子装备（集团）股份有限公司（曾用名：上海微电子装备有限公司，于 2017 ...(光刻机在正文或附件中)
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先进封装光刻机项目 2023-12-17上海 -
先进封装光刻机项目 先进封装光刻机项目 环境影响报告表报批前公示 一说明 根据《中华人民...(光刻机在正文或附件中)
2023-12-15上海 -
年产半导体设备及防震基台500套、船舶消防设备及部件2000件、20台半导体设备光刻机、30台半导体设备曝光机和半导体基座800套生产建设项目 项目名称 年产半导体设备及防震基台500套、船舶消防设备及部件2000件、20台...(光刻机在正文或附件中)
2023-9-21上海 -
年产半导体设备及防震基台500套、船舶消防设备及部件2000件、20台半导体设备光刻机、30台半导体设备曝光机和半导体基座800套生产建设项目 年产半导体设备及防震基台500套、船舶消防设备及部件2000件、20台半导体设备（光刻机）...(光刻机在正文或附件中)
2023-6-12上海 -
新毅东高端半导体装备的研发及生产项目 项目名称 新毅东高端半导体装备的研发及生产项目 项目名称 新毅东高端半导体装...(光刻机在正文或附件中)
2023-4-28上海 -
平板显示／先进封装光刻机产业化项目（调整） 项目名称 平板显示／先进封装光刻机产业化项目（调整） 项目名称 平板显示／先...(光刻机在正文或附件中)
2022-11-10上海 -
关于2022年度浦东新区科技发展基金知识产权专项第一批“国家级奖项资助”等6项立项的公示 关于2022年度浦东新区科技发展基金知识产权专项第一批“国家级奖项资助”等6项立项的公示 根据...(光刻机在正文或附件中)
2022-9-30上海 -
高端光刻机照明系统组装、集成建设项目环境影响登记表 项目名称高端光刻机照明系统组装、集成建设地点上海市直辖市嘉定区霍城路635号占地面积（平方米）560...(光刻机在正文或附件中)
2019-12-11上海 -
上海彩丞全息技术有限公司计算全息光学膜测试开发项目 项目名称上海彩丞全息技术有限公司计算全息光学膜测试开发项目建设地点上海市直辖市松江区中创路68号6幢...(光刻机在正文或附件中)
2017-11-22上海
各地区审批公示：
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