清华大学2022年12月政府采购意向-原子层沉积ALD设备-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额490.000000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-原子层沉积ALD设备-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额490.000000万元(人民币)
| 原子层沉积ALD设备 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积ALD设备 |
| 预算金额： | 490.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购原子层沉积ALD设备1台，技术参数需求：1套完整的双腔室ALD系统，包含1套独立的等离子体法与1套独立的热法沉积腔室与相应的控制系统，2个沉积腔体，1套完整的等离子体发生系统、等离子体腔体、等离子体自动升降控制系统，2套自动升降台自动送片/取片，1套Load-Lcok进样室…… |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积ALD设备 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积ALD设备 |
| 预算金额： | 490.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购原子层沉积ALD设备1台，技术参数需求：1套完整的双腔室ALD系统，包含1套独立的等离子体法与1套独立的热法沉积腔室与相应的控制系统，2个沉积腔体，1套完整的等离子体发生系统、等离子体腔体、等离子体自动升降控制系统，2套自动升降台自动送片/取片，1套Load-Lcok进样室…… |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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