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2025年1至12月政府采购意向-等离子体超高真空高温原子层沉积ALD详细情况万元人民币 采购等离子体超高真空高温原子层沉积设备1台用于实现超薄二维原子晶体材料大尺寸、大晶粒、原子层可控制备...(ALD在正文或附件中)
2025-1-7北京 -
2024年11至12月政府采购意向-原子层沉积系统详细情况万元人民币 设备应由ALD粉末反应系统、前驱体源系统软件控制系统等部分组成(ALD在正文或附件中)
2024-11-8北京 -
北京航空航天大学2024年8至12月政府采购意向-北京航空航天大学物理学院先进物质平台详细情况万元人民币 建设先进的铁电材料物性研究平台需采购关键设备包括高真空度磁控溅射系统、原子层沉积系统（ALD）、铁电...(ALD在正文或附件中)
2024-8-30北京 -
北京航空航天大学2024年7至12月政府采购意向-北京航空航天大学国际前沿交叉科学研究院多腔体传输等离子表面处理-ALD-磁控溅射镀膜-联动系统详细情况万元人民币 等离子表面处理：射频电源0~1000W(ALD在正文或附件中)
2024-7-5北京 -
北京航空航天大学2024年7至12月政府采购意向 (ALD在正文或附件中)
2024-7-5北京 -
北京理工大学2024年8至9月政府采购意向-原子层可控生长系统详细情况万元人民币 采用热原子层沉积（T-ALD）方法或者等离子体增强原子层沉积（PEALD）方法制备高度致密的、无针孔...(ALD在正文或附件中)
2024-7-4北京 -
中国科学院青岛生物能源与过程研究所2024年6至12月政府采购意向-原子层沉积设备电化学分析仪器-预算金额万元人民币 原子层沉积设备以单原子膜形式逐层镀在基底表面与普通的化学沉积有相似之处但在原子层沉积过程中新一层原子...(ALD在正文或附件中)
2024-5-15北京 -
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向-原子层沉积系统其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币 原子层沉积系统（ALD）可用于生长介质层材料该系统通过将气相前驱体脉冲交替地通入ALD反应腔分别化学...(ALD在正文或附件中)
2024-4-3北京 -
中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-8英寸晶圆电子工业生产设备-预算金额万元人民币 采购标的名称：8英寸晶圆ALD。采购标的主要功能：主要用于小尺寸3D(ALD在正文或附件中)
2024-3-11北京 -
中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向-垂直流热型原子层沉积系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币 温度范围：100~500℃控温精确度±1℃内腔材质：Ti合金金属沾污：<5e10/cm2；本底...(ALD在正文或附件中)
2024-3-8北京 -
年8至12月政府采购意向-北京怀柔实验室粉末流化床ALD包覆系统采购项目电池生产专用设备-预算金额万元人民币 用于原子层沉积技术生产粉末催化剂(ALD在正文或附件中)
2023-8-1北京 -
清华大学2023年10月政府采购意向-原子层沉积ALD系统其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币 三氧化二铝、氧化铪、氮化钛、铪哠氧、铪镧氧等薄膜沉积；厚度均匀性小于3%；兼容8英寸；防止交叉污染分...(ALD在正文或附件中)
2023-7-8北京 -
zycgr210708012023年4至12月政府意向-原子层沉积系统-A021099其他仪器仪表-预算金额220.000000万元(人民币)招标预告 1.(ALD在正文或附件中)
2023-5-5北京 -
zycgr210708012023年4至12月政府意向-原子层沉积系统-A021099其他仪器仪表-预算金额250.000000万元(人民币)招标预告 我们希望购置一台ALD设备能够实现硅通孔的TiN侧壁与晶圆表面的生长实现生长的薄膜中Ti与N比例接近...(ALD在正文或附件中)
2023-5-5北京 -
中国科学院微电子研究所2023年3至12月政府采购意向-多腔室新型高k金属栅ALD生长系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额850.000000万元(人民币) 该设备主要用于支撑GAA器件中急需的新型高介电常数栅介质HfLaO及原位金属栅生长构建多腔室新型高k...(ALD在正文或附件中)
2023-3-1北京 -
清华大学2022年12月政府采购意向-原子层沉积ALD设备-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额490.000000万元(人民币) 拟采购原子层沉积ALD设备1台技术参数需求：1套完整的双腔室ALD系统包含1套独立的等离子体法与1套...(ALD在正文或附件中)
2022-12-1北京 -
北京科技大学2022年11月政府采购意向-高保型率介电封装材料制备系统-A02052500-其他真空获得及应用设-预算金额750.000000万元(人民币) （一）采购标的名称：高保型率介电封装材料制备系统（二）采购标的需实现的主要功能或者目标高保型率介电封...(ALD在正文或附件中)
2022-11-24北京 -
北京化工大学2022年11月政府采购意向-ARRADIANCE台式原子层沉积系统-A03专用仪器-预算金额320.000000万元(人民币) ALD(ALD在正文或附件中)
2022-10-13北京 -
北京化工大学2022年11月政府采购意向-等离子体增强原子层沉积设备（ALD）-A03专用仪器-预算金额500.000000万元(人民币) 用于可控制备原子层厚度的纳米团簇材料为能源、催化、材料、生命等学科研究提供可控模型材料(ALD在正文或附件中)
2022-10-13北京 -
北京大学2022年12月政府采购意向-特气监控系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额495.000000万元(人民币) 重点满足高端产业人才课程实训基地建设需求同时提升IC/MEMS芯片制造过程中CVD、ALD、离子注入...(ALD在正文或附件中)
2022-10-10北京 -
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年7至12月政府采购意向-多功能原子层沉积系统-名称多功能原子层沉积系统；数量1台/套；主要功能和目标配置热 名称：多功能原子层沉积系统；数量：1台/套；主要功能和目标：配置热型ALD和Plasma(ALD在正文或附件中)
2022-7-18北京 -
北京大学2022年7月政府采购意向-热型原子层沉积系统-ALD设备是生长高K栅介质薄膜关键设备 ALD设备是生长高K栅介质薄膜关键设备(ALD在正文或附件中)
2022-5-25北京 -
多腔室新型高k金属栅ALD生长系统招标预告 设备名称：多腔室新型高k金属栅ALD生长系统一台设备名称：多腔室新型高k金属栅ALD生长系统一台该设...(ALD在正文或附件中)
2022-2-21北京 -
东华大学2021年11月政府意向-原子层沉积系统招标预告 （1）ALD(ALD在正文或附件中)
2021-1-20北京 -
原子层沉积系统招标预告 原子层沉积系统主要用于沉积出薄膜材料例如Ⅱ-Ⅵ化合物、Ⅱ-Ⅵ基TFEL磷光材料、Ⅲ-V化合物、氮(碳...(ALD在正文或附件中)
2020-11-25北京
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