中国科学院物理研究所2023年3月政府采购意向-原子层沉积镀膜机(2023预算07)-A-货物_A02000000-设备_A0-预算金额175.000000万元(人民币)
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中国科学院物理研究所2023年3月政府采购意向-原子层沉积镀膜机(2023预算07)-A-货物_A02000000-设备_A0-预算金额175.000000万元(人民币)
| 原子层沉积镀膜机(2023预算07) | |
| 项目所在采购意向： | (略) 物理研究所2023年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 物理研究所 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积镀膜机(2023预算07) |
| 预算金额： | 175.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物_A*-设备_A*-仪器仪表_A*-试验仪器及装置_A*-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 可在不同种类和尺寸衬底上通过热沉积等和等离子体增强沉积方式沉积氧化物等薄膜材料。主要技术参数：镀膜样品尺寸：最大 400 mm×400 mm，可多片；腔体温度精度： ≤ 2°C；腔体温度：最高 ~200°C；反应腔本底真空：≤ 10-2 mbar；反应腔漏率：≤ 5×10-7 Pa L/S；独立前驱体源配置；独立载气系统；在线清洗功能；整机本底真空：≤ 5×10-7 Torr；真空漏率：≤ 5×10-1 Pa L/S；薄膜厚度可测；膜厚均匀性：同片 ≤ 5%，片间 ≤ 3%。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | 2023预算07 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积镀膜机(2023预算07) | |
| 项目所在采购意向： | (略) 物理研究所2023年3月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 物理研究所 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积镀膜机(2023预算07) |
| 预算金额： | 175.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物_A*-设备_A*-仪器仪表_A*-试验仪器及装置_A*-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 可在不同种类和尺寸衬底上通过热沉积等和等离子体增强沉积方式沉积氧化物等薄膜材料。主要技术参数：镀膜样品尺寸：最大 400 mm×400 mm，可多片；腔体温度精度： ≤ 2°C；腔体温度：最高 ~200°C；反应腔本底真空：≤ 10-2 mbar；反应腔漏率：≤ 5×10-7 Pa L/S；独立前驱体源配置；独立载气系统；在线清洗功能；整机本底真空：≤ 5×10-7 Torr；真空漏率：≤ 5×10-1 Pa L/S；薄膜厚度可测；膜厚均匀性：同片 ≤ 5%，片间 ≤ 3%。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | 2023预算07 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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