清华大学2023年10月政府采购意向-原子层沉积ALD系统其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
清华大学2023年10月政府采购意向-原子层沉积ALD系统其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
原子层沉积ALD系统 | |
项目所在采购意向: | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
采购单位: | 清华大学 |
采购项目名称: | 原子层沉积ALD系统 |
预算金额: | 3000.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他试验仪器及装置 |
采购需求概况: | 三氧化二铝、氧化铪、氮化钛、铪哠氧、铪镧氧等薄膜沉积;厚度均匀性小于3%;兼容8英寸;防止交叉污染,分别对应氧化物、氮化物、金属薄膜等沉积。 |
预计采购时间: | 2023-10 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
原子层沉积ALD系统 | |
项目所在采购意向: | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
采购单位: | 清华大学 |
采购项目名称: | 原子层沉积ALD系统 |
预算金额: | 3000.*万元(人民币) |
采购品目: | A*其他试验仪器及装置 |
采购需求概况: | 三氧化二铝、氧化铪、氮化钛、铪哠氧、铪镧氧等薄膜沉积;厚度均匀性小于3%;兼容8英寸;防止交叉污染,分别对应氧化物、氮化物、金属薄膜等沉积。 |
预计采购时间: | 2023-10 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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