氮系统具备远程控制基础;同时在线终端管理配置权限:200个以...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

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芯片尺寸:2、4、6英寸晶圆以及切割后的芯片;最小检测精度:...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

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自动测试通道数≥20;(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

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CCD分辨率:2000x2000菲索型结构搭载高性能的激光器...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

平台应至少包括以下腔室：氧化硅磁控溅射腔室、硫化锌磁控溅射腔...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

衬底尺寸和类型:6英寸/单片3D(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

生长室极限真空度优于(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

共加工4套共20块大口径红外透镜材料含硅和锗;表面类型包含球...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

材料包含22块单晶硅和4块单晶锗:其中单晶硅材料共22块直径...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

在规定传热量和温区传热温差＜3℃。在轨寿命15年。(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

包装箱适用并满足空运、海运与城市间公路运输的相关要求。（能顺...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

预处理腔极限真空5×10-10(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

电脉冲脉宽\输出:(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

工作波段:900nm~1700nm;多维调节机构精度:转动分...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

顶部裂解区工作温度:600-1000C底部蒸发区工作温度:3...(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

刻蚀材料尺寸:(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)

外延材料表面处理与新型材料制备设备(国科学院上海技术物理研究所在正文或附件中)