目前校内暂无此设备。针对本课题组大量进行的高精度多层复合薄膜器件研究工艺原子层沉积系统作为薄膜制备技...(CVD在正文或附件中)
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双通道ALD管式炉联用系统招标预告 2022-11-10四川 -
西南交通大学2022年10至12月政府意向-西南交通大学功率半导体实验中心-微电子工艺教学设备-A032103电子工业专用生产设备招标预告 去离子制水机清洗操作台有机蒸发镀膜机蒸发镀膜台光刻机及校准装置刻蚀机氧化扩散炉PECVD/CVD磁控...(CVD在正文或附件中)
2022-10-24四川
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