晶圆键合对准模块1套。主要用途：本设备将两个表面已做好图案的...(点中山大学在正文或附件中)

电化学CV测量仪器1套。主要用途：该设备用于测量半导体外延片...(点中山大学在正文或附件中)

定位贴片机1套。主要用途：该设备主要用于将切割好的晶粒/芯片...(点中山大学在正文或附件中)

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