碳化硅外延平台尾气处理装置2台(碳化硅在正文或附件中)

1.1材质:碳化硅陶瓷基复合材料碳超高温陶瓷基复合材料碳化硅陶瓷基复合材料;(碳化硅在正文或附件中)

1.1材质：碳碳化硅陶瓷基复合材料碳化硅碳化硅陶瓷基复合材料；(碳化硅在正文或附件中)

1.1材质：碳碳化硅陶瓷基复合材料碳化硅碳化硅陶瓷基复合材料；(碳化硅在正文或附件中)

"碳化硅点阵硅片吸盘：1、采用99.9%以上纯度碳化硅粉末无压烧结而成外形尺寸φ345mm*45mm...(碳化硅在正文或附件中)

(碳化硅在正文或附件中)

1.用途：用于预制体编织及预浸料制备2.技术要求：规格（根/束）：500单丝直径（μm）：12.0±...(碳化硅在正文或附件中)

一、数量：2台二、主要功能：拟采购两套光学数控小磨头用于对光学元件进行精密抛光实现光学元件中频误差修...(碳化硅在正文或附件中)

磁流变抛光设备1台加工材料：微晶玻璃、ULE、石英、硅、碳化硅、镍磷合金等材料；主要功能如下加工表面...(碳化硅在正文或附件中)

数量：1套。实现碳化硅样品在隔振条件良好的低温恒温器中的测量以制备窄线宽的高亮度单光子源并实现光-固...(碳化硅在正文或附件中)

1.用于预制体编织及预浸料制备；2.技术要求：规格（根/束）：500单丝直径（μm）：12.0±1....(碳化硅在正文或附件中)

1.用于预制体编织及预浸料制备。2.技术要求：纤维直径(碳化硅在正文或附件中)

本实验室一直从事SiC单晶生长研究需要生长大尺寸、低成本、高质量的碳化硅单晶衬底。随着对大尺寸、低成...(碳化硅在正文或附件中)

本实验室一直从事SiC单晶生长研究需要生长大尺寸、低成本、高质量的碳化硅单晶衬底。随着对大尺寸、低成...(碳化硅在正文或附件中)

标的名称：碳化硅基板；需要实现的主要功能或者目标：巡天模块巡天主焦面碳化硅基板用于安装固定31片巡天...(碳化硅在正文或附件中)

外延厚度表征仪1台使用红外光谱进行碳化硅同质外延层的非接触膜厚测量(碳化硅在正文或附件中)

p型碳化硅外延炉1台用于可外延生长高掺杂浓度p型碳化硅外延层(碳化硅在正文或附件中)

表面缺陷检测仪1台可结合激光散射形貌和PL图综合检测碳化硅外延片表面缺陷情况(碳化硅在正文或附件中)

碳化硅高温氧化炉1台可进行1400℃24小时或1500℃2小时的六英寸碳化硅晶圆氧化(碳化硅在正文或附件中)

体缺陷检测仪1台可结合DIC显微镜与双PL图像同时检测图像对碳化硅外延层的体缺陷进行综合检测(碳化硅在正文或附件中)

载流子浓度检测仪1台可检测具有反型结构的碳化硅外延片的载流子浓度(碳化硅在正文或附件中)

微波光电导衰减检测仪1台采用微波光电导衰减法检测碳化硅外延片的少子寿命分布情况(碳化硅在正文或附件中)

碳化硅晶片清洗机1台对碳化硅衬底和外延片进行设备内自动RCA标准湿法清洗具备干进干出功能(碳化硅在正文或附件中)

平坦度检测仪1台使用干涉条纹法进行碳化硅晶圆翘曲情况非接触检测晶圆载台具备吸附功能(碳化硅在正文或附件中)

n型碳化硅外延炉1台用于外延生长高厚度低掺杂浓度n型碳化硅外延层(碳化硅在正文或附件中)

名称:(碳化硅在正文或附件中)

名称:(碳化硅在正文或附件中)

名称:(碳化硅在正文或附件中)

碳化硅色心量子光源芯片提供4K的低温强磁场低震动环境(碳化硅在正文或附件中)

1.主要用于液态包层预研；2.采购数量1吨左右材料致密耐高温其中热导率<=3.5W/m?K;电...(碳化硅在正文或附件中)