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2024年10至11月政府采购意向-全自动紫外光刻机详细情况万元人民币 拟采购全自动紫外光刻机1台套(含匀胶显影)8寸向下兼容用于实现对衬底晶圆的曝光图形化全自动实现机械手...(碳化硅在正文或附件中)
2024-9-30上海 -
2024年10至11月政府采购意向-全自动紫外光刻机详细情况万元人民币 拟采购全自动紫外光刻机1台套(含匀胶显影)8寸向下兼容用于实现对衬底晶圆的曝光图形化全自动实现机械手...(碳化硅在正文或附件中)
2024-9-30上海 -
上海交通大学2023年12月政府采购意向-感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(ICPECVD)数量1套采用感应耦合等离子体(ICP)方式产生...(碳化硅在正文或附件中)
2023-11-20上海 -
上海交通大学2023年12月政府采购意向-多靶磁控溅射镀膜系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币 多靶磁控溅射镀膜系统数量1套8寸内多片自动进样式磁控溅射可直接溅射金属和介质材料并可采用反应溅射的方...(碳化硅在正文或附件中)
2023-11-20上海 -
上海交通大学2022年12月政府采购意向-碳化硅反应离子刻蚀系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额300.000000万元(人民币) 采用大功率射频源实现碳化硅基片及外延层的电感耦合反应离子干法刻蚀配置电感耦合射频源和半自动装片系统。...(碳化硅在正文或附件中)
2022-11-23上海 -
上海交通大学2022年12月政府采购意向-碳化硅化学气相外延系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额1100.000000万元(人民币) 支持第三代半导体碳化硅单晶材料的同质或异质热壁外延生长;最高生长温度1800C可实现N型和P型掺杂。...(碳化硅在正文或附件中)
2022-11-23上海 -
复旦大学2022年9月政府采购意向-功率器件分析仪-为强化复旦大学在碳化硅半导体材料和器件领域的研究实力,工程与 强化复旦大学在碳化硅半导体材料和器件领域的研究实力工程与应用技术研究院上海碳化硅功率器件工程技术研究...(碳化硅在正文或附件中)
2022-8-9上海 -
中国科学院上海硅酸盐研究所2022年7至12月政府采购意向-预烧结炉-常用温度700~1290℃;最高温度1340℃;容积1000 常用温度:700~1290℃;最高温度:1340℃;容积:1000L-2000L;温度均匀性:≤±6...(碳化硅在正文或附件中)
2022-7-12上海 -
-运动控制平台招标预告 运动控制平台项目所在采购意向:华东师范大学2022年3月政府采购意向采购单位:华东师范大学采购项目名...(碳化硅在正文或附件中)
2022-2-23上海 -
伊泰化工各车间3月计划杂项70项 标段编号BD202102-045496标段名称伊泰化工各车间3月计划杂项70项采购专业材料采购类型询...(碳化硅在正文或附件中)
2021-2-26上海
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