ALD原子层沉积系统、硒化炉、椭偏仪(原子层沉积在正文或附件中)
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桂林理工大学2022年3月至4月政府采购意向-材料学院薄膜太阳电池科研团队设备采购 2022-3-23广西 -
华中科技大学2021年03月至06月政府采购意向公开 主要由刻蚀腔体、进样室、下电极、射频等离子体源及自动匹配单元、气路系统、真空系统、冷水机、终点监测系...(原子层沉积在正文或附件中)
2021-3-2广西
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