福建原子层沉积招标预告

基片尺寸和装载量：同时可容纳6片300*400(原子层沉积在正文或附件中)

基片尺寸：300*400(原子层沉积在正文或附件中)

(原子层沉积在正文或附件中)

12英寸原子层沉积设备主要用于大尺寸衬底上进行高精度金属如Cu、Ru等的薄膜沉积可实现高深宽比孔/槽...(原子层沉积在正文或附件中)

全自动热原子层沉积系统主要用于8吋衬底上进行高精度介质膜如Al2O3、HfO2、ZrO？等的薄膜沉积...(原子层沉积在正文或附件中)

沉积氮化物、碳化硅、金属氧化物等薄膜。具备原子层沉积模式精确控制薄膜厚度在复杂衬底保持共形生长也可以...(原子层沉积在正文或附件中)

电感耦合等离子体增强原子层沉积系统一台用于八英寸及以下电子电镀阻挡层和种子层薄膜材料的生长。具体要求...(原子层沉积在正文或附件中)

包含人工智能服务器、图形处理采集视觉处理服务器、服务器连接笔记本电脑、图形工作站、高分辨率LED显示...(原子层沉积在正文或附件中)

包含人工智能服务器、图形处理采集视觉处理服务器、服务器连接笔记本电脑、图形工作站、高分辨率LED显示...(原子层沉积在正文或附件中)

本次采购项目包含智能制造单元2套、仓储单元（立体料仓堆垛机输入输出线等）1套、物流输送单元（AGV小...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积设备一台器用于高深宽比结构的金属种子层生长。具体要求详见采购文件。（包括供货安装调试验收合...(原子层沉积在正文或附件中)

有机光电器件制备系统：分为有机真空镀膜仪（真空部分、真空镀膜系统、膜厚检测系统、样品台及挡板）和手套...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积系统主要用于沉积出薄膜材料例如Ⅱ-Ⅵ化合物、Ⅱ-Ⅵ基TFEL磷光材料、Ⅲ-V化合物、氮(碳...(原子层沉积在正文或附件中)

磁随机存储器演示芯片流片加工测试拟采用40nm或以下代工工艺开展1次多项目晶圆流片芯片面积不小于27...(原子层沉积在正文或附件中)

磁随机存储器演示芯片流片加工测试拟采用40nm或以下代工工艺开展1次多项目晶圆流片芯片面积不小于27...(原子层沉积在正文或附件中)

1、原子层沉积系统（185万）原子层沉积系统主要功能：用于原子尺度的薄膜样品制备可沉积各类材料。2、...(原子层沉积在正文或附件中)

1、激光直写光刻机（500万元）激光直写光刻系统在集成电路工艺中起曝光光刻胶显影后形成图形 其主要特...(原子层沉积在正文或附件中)

详见项目详情 (原子层沉积在正文或附件中)