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复旦大学2023年11月政府采购意向-离子注入系统电子工业生产设备-预算金额万元人民币 拟采购一台离子注入系统该设备系统为定制小型化离子注入系统(离子注入在正文或附件中)
2023-10-19上海 -
复旦大学2022年12月政府采购意向-低能离子注入设备-A032103电子工业专用生产设备-预算金额2000.000000万元(人民币) 用于先进半导体器件制备离子注入(离子注入在正文或附件中)
2022-11-22上海 -
复旦大学2022年12月政府采购意向-快速热退火设备-A032103电子工业专用生产设备-预算金额500.000000万元(人民币) 快速热退火设备主要用于集成电路工艺中ALD(离子注入在正文或附件中)
2022-11-22上海 -
复旦大学2022年11至12月政府采购意向-聚焦离子束/原子力探针纳米加工系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额1100.000000万元(人民币) 微纳加工是目前信息器件制备中不可或缺的手段。纳米级别的高精度聚焦离子束/原子力探针纳米加工系统结合了...(离子注入在正文或附件中)
2022-11-22上海 -
复旦大学2022年11月政府采购意向-应用表面物理国重国家级平台能力提升项目-聚焦离子束/原子力探针纳米加工系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额750.000000万元(人民币) 本次科研仪器设备工作方案紧密围绕国家重大需求和解决重大科学问题的根本任务并结合实验室的主要研究方向而...(离子注入在正文或附件中)
2022-10-25上海 -
复旦大学2021年9月政府采购意向-等离子体浸没式离子注入机-用于源/漏超浅结的制备和器件研制，要求具有超低能、高束流离子 用于源/漏超浅结的制备和器件研制要求具有超低能、高束流离子注入功能本次购置的等离子体浸没式离子注入机...(离子注入在正文或附件中)
2021-7-26上海 -
复旦大学2021年9月政府采购意向-2021年专用集成电路国家重点实验室等离子体浸没式离子注入机-本项目拟购置离子注入机1台，实现在半导体衬底材料中注入B，P 本项目拟购置离子注入机1台实现在半导体衬底材料中注入BPAs等半导体专用参杂离子。该系统能使实现10...(离子注入在正文或附件中)
2021-7-8上海 -
复旦大学2021年9月政府采购意向公告2021年专用集成电路国家重点实验室计算与存储服务器 详见项目详情 (离子注入在正文或附件中)
2021-7-8上海 -
HPGe研制-离子注入机招标预告 (离子注入在正文或附件中)
2021-1-27上海 -
2020年12月政府意向公告双束聚焦离子束系统招标预告 (离子注入在正文或附件中)
2020-11-6上海 -
2020年12月政府意向-双束聚焦离子束系统 招标预告 具备离子束加工功能还同时具备扫描电子显微镜的成像功能。在单一系统上就能实现实时观测地对材料和器件进行...(离子注入在正文或附件中)
2020-11-6上海 -
中国科学院上海应用物理研究所2020年12月政府采购意向-双束聚焦离子束系统 具备离子束加工功能还同时具备扫描电子显微镜的成像功能。在单一系统上就能实现实时观测地对材料和器件进行...(离子注入在正文或附件中)
2020-11-6上海 -
中束流离子注入机招标预告 标的：中束流离子注入机；主要功能：用于半导体及光电器件与芯片的掺杂（有源器件加工必备）用于B/P/A...(离子注入在正文或附件中)
2020-8-31上海 -
交通大学2020年9月政府 招标预告 详见项目详情 (离子注入在正文或附件中)
2020-8-31上海 -
中国科学院2020年7至12月政府采购意向-离子注入机 对半导体材料表面进行某种元素的掺杂从而改变其特性的工艺制程单面准直掺杂、良好的掺杂均匀性和可控性、掺...(离子注入在正文或附件中)
2020-7-2上海
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