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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院氮化硅沉积机采购项目详细情况万元人民币 氮化硅沉积机:数量:1台。在光电子芯片研发平台中主要用于沉积...(广州市中山大学东校区在正文或附件中)
2024-12-03广东 -
2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统ICPLN采购项目详细情况万元人民币 电感耦合等离子体刻蚀系统(广州市中山大学东校区在正文或附件中)
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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院硅通孔刻蚀机采购项目详细情况万元人民币 硅通孔刻蚀机:数量:1台。相比于RIE过程在刻蚀过程中交替进...(广州市中山大学东校区在正文或附件中)
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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积-介质SiO2&Si采购项目详细情况万元人民币 等离子体增强化学气相沉积-介质(SiO2&Si):数...(广州市中山大学东校区在正文或附件中)
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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院无掩膜光刻机采购项目详细情况万元人民币 无掩膜光刻机数量:1台。该设备用于光刻技术是现代半导体、微电...(广州市中山大学东校区在正文或附件中)
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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院电容耦合等离子体氧化硅刻蚀机采购项目详细情况万元人民币 电容耦合等离子体:数量:1台。光电子器件的制备工艺流程与微电...(广州市中山大学东校区在正文或附件中)
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2025年1月政府采购意向-电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统ICPⅢ-Ⅴ采购项目详细情况万元人民币 电感耦合等离子体刻蚀系统(ICP)Ⅲ-Ⅴ:数量:2台。光电子...(广州市中山大学东校区在正文或附件中)
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