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2024年12月政府采购意向-原子层沉积设备详细情况万元人民币 基片尺寸和装载量：同时可容纳6片300*400(沉积设备在正文或附件中)
2024-11-22福建 -
2024年10至12月政府采购意向-原子层沉积设备详细情况万元人民币 基片尺寸：300*400(沉积设备在正文或附件中)
2024-9-30福建 -
厦门大学2024年8月政府采购意向 (沉积设备在正文或附件中)
2024-7-16福建 -
厦门大学2024年8月政府采购意向-微波等离子体化学气相沉积系统详细情况万元人民币 微波等离子体化学气相沉积系统主要用于晶圆级金刚石的生长、多元素掺杂生长及表面活化解决芯片散热问题。厦...(沉积设备在正文或附件中)
2024-7-16福建 -
厦门大学2024年8月政府采购意向-12英寸原子层沉积设备详细情况万元人民币 12英寸原子层沉积设备主要用于大尺寸衬底上进行高精度金属如Cu、Ru等的薄膜沉积可实现高深宽比孔/槽...(沉积设备在正文或附件中)
2024-7-16福建 -
福州大学2023年03月至2023年04月政府采购意向 采购内容：金属有机化学气相沉积设备 采购数量：1套 主要功能或目标：1.生长高质量氧化镓外延薄膜；a...(沉积设备在正文或附件中)
2023-3-30福建 -
厦门理工学院2022年11月至12月政府采购意向 沉积氮化物、碳化硅、金属氧化物等薄膜。具备原子层沉积模式精确控制薄膜厚度在复杂衬底保持共形生长也可以...(沉积设备在正文或附件中)
2022-11-15福建 -
厦门大学2022年11月政府采购意向-原子层沉积设备详细情况-A02100503工艺试验机-预算金额300.000000万元(人民币) 原子层沉积设备一台器用于高深宽比结构的金属种子层生长。具体要求详见采购文件。（包括供货安装调试验收合...(沉积设备在正文或附件中)
2022-10-7福建
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