互联智能制备测试一体化集成系统包含双工位手套箱21台热蒸镀设备4台（其中2台适用于双源共蒸）磁控溅射...(沉积设备在正文或附件中)

（1）真空内外双腔结构；(沉积设备在正文或附件中)

物理气相沉积设备是一种用于将材料薄膜沉积到基底上的系统其工艺包括将固体材料转化为蒸汽将蒸汽输送到低压...(沉积设备在正文或附件中)

脉冲激光沉积是将脉冲准分子激光所产生的高功率脉冲激光束聚焦作用于真空室内的靶材表面使靶在极短的时间内...(沉积设备在正文或附件中)

原子层沉积（ALD）是一种高度精密和可控的薄膜制备技术常用于制备纳米级薄膜、半导体器件和光电子器件。...(沉积设备在正文或附件中)

原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料例如Ⅱ-Ⅵ化合物、Ⅱ-Ⅵ基TFEL磷光材料、Ⅲ-V化合物、氮(碳...(沉积设备在正文或附件中)

主要设备:光刻机(1套)薄膜生长设备【包括氧化炉(1套)、PVD设备(1套)、原子层沉积设备(1套)...(沉积设备在正文或附件中)

本次项目采购一台金属有机化学气相沉积设备设备要求适用于VI族化合物薄膜至少包换6路以上固、液前驱体3...(沉积设备在正文或附件中)

本项目拟采购1批分子层沉积设备包括1套ICP等离子体分子层沉积设备主机、1套双腔反应腔、1套常温液源...(沉积设备在正文或附件中)

拟采购3种型号分子层沉积设备共3套主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜。第一套分子层沉积设备主要用于...(沉积设备在正文或附件中)

拟采购一台低压化学气象沉积设备使用该设备可以大大的提bu高晶体生长的效率增加可生长材料的种类为薄膜材...(沉积设备在正文或附件中)

拟采购两套分子层沉积设备该设备由分子层沉积设备主机、反应腔、液态源管路系统、加热源管路系统、工艺真空...(沉积设备在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2...(沉积设备在正文或附件中)

（1）配有预真空室Load-lock传送腔通过闸板阀与反应腔室连接；反应腔室极限真空：≤2Pa 、预...(沉积设备在正文或附件中)

离子铣及沉积设备1套。1.5.1.不锈钢真空腔；1.5.2.配备真空分子泵和前级泵系统；★1.5.3...(沉积设备在正文或附件中)

原子层沉积设备 1套。用于微电子材料原子层沉积实验。进行微电子材料的沉积工作。1.腔体结构采用真空腔...(沉积设备在正文或附件中)

可在高深宽比结构上沉积疏水有机物薄膜。同时具有普通的原子层沉积能力。具有5个蒸气传输管道(沉积设备在正文或附件中)

政府采购意向公告 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工...(沉积设备在正文或附件中)

拟购置设备主要用于光学薄膜制备在光刻设备光学元件制备中具有广泛的应用。设备将拓展学校在193nm和2...(沉积设备在正文或附件中)

用于集成电路工艺的薄膜材料制备具有厚度高度可控、优异的均匀性及良好的保形性具有热原子层沉积、等离子体...(沉积设备在正文或附件中)

用于先进半导体器件制备原子层沉积(沉积设备在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔202...(沉积设备在正文或附件中)

主要功能：将物质以单原子膜形式一层一层的镀在粉末、晶圆等基底表面。数量：1保修时间大于两年使用寿命大...(沉积设备在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔202...(沉积设备在正文或附件中)

高精度光学薄膜沉积设备采购电子束蒸发或离子束辅助制备近紫外至红外波段各类介质光学薄膜蒸镀各种金属薄膜...(沉积设备在正文或附件中)

原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料满足沉积Al2O3、HfO2、ZrO2等薄膜材料的需要。原子层沉...(沉积设备在正文或附件中)

本项目拟采购1套HDPSTI沉积设备自动化程度高可以满足高性能STI薄膜的制备需求(沉积设备在正文或附件中)

本项目拟采购HDPSTI沉积设备1套用以进行浅沟槽隔离绝缘技术(STI)薄膜沉积(沉积设备在正文或附件中)

详见项目详情 (沉积设备在正文或附件中)