电子束光刻（通常缩写为电子束光刻、EBL）是一种利用扫描电子聚焦束以在被称为抗蚀剂（曝光）的电子敏感...(电子器件在正文或附件中)

采购设备名称：纤维半导体器件微纳加工系统1套该设备是对纤维材料和器件表面进行微纳加工。针对纤维器件定...(电子器件在正文或附件中)

原子层沉积（ALD）是一种高度精密和可控的薄膜制备技术常用于制备纳米级薄膜、半导体器件和光电子器件。...(电子器件在正文或附件中)

应对微电子器件的材料组分、表面形貌和结构信息进行准确测定所购置的桌面式能量色散型X射线光谱检测器需要...(电子器件在正文或附件中)

采购包含反应室、加热装置、气体供应系统、薄膜制备设备、真空系统、温度控制系统、观测和分析装置等。实现...(电子器件在正文或附件中)

磁性薄膜材料在信息存储、传感、微波通信等领域有着广泛应用。随着相关器件尺寸的微缩当前针对磁性薄膜的研...(电子器件在正文或附件中)

申请人计划使用分子束外延系统来制备高质量的拓扑材料薄膜和磁性材料薄膜并通过电输运测量来研究这些材料的...(电子器件在正文或附件中)

目前市场上已经有非常成熟的无液氦（干式）低温强磁场系统无需使用液氦作为制冷剂运行成本低使用难度小。申...(电子器件在正文或附件中)

（1）拟采购方式：上大迅采(电子器件在正文或附件中)

介质层淀积系统是一种用于制造薄膜材料的设备通过物理或化学方法在基材上沉积介质材料实现不同功能的薄膜制...(电子器件在正文或附件中)

本项目拟采购硅基/磁性材料/氮化物材料体系兼容的精确刻蚀的设备。通过等离子体技术实现多种材料体系的超...(电子器件在正文或附件中)

（1）拟采购方式：上大迅采(电子器件在正文或附件中)

目前微纳电子加工平台有黄光区、刻蚀区、装配区、清洗区和量测区。本平台性质为电子厂房洁净室属于小规模、...(电子器件在正文或附件中)

目前微纳电子加工平台有黄光区、刻蚀区、装配区、清洗区和量测区。本平台性质为电子厂房洁净室属于小规模、...(电子器件在正文或附件中)

以原子单层级别逐层反应的方法在基底上高保型的生长致密的几个nm到几十nm氧化铝、氧化铪、氧化锆等氧化...(电子器件在正文或附件中)

电阻和电阻率是半导体和微电子器件的重要参数是选择材料控制工艺条件和设计器件的重要依据为了尽量消除这些...(电子器件在正文或附件中)

在真空低气压下以一定比例的混合刻蚀气体经ICP耦合辉光放电产生高密度的等离子体在下电极的RF(电子器件在正文或附件中)

在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀。用于曝光完成后配...(电子器件在正文或附件中)

　　教育部申请电子科技大学半导体光电子器件仿真软件 采购项目采用单一来源方式采购，项目预算金额...(电子器件在正文或附件中)

通过凝胶电泳及Western Blot等手段借助化学发光或荧光成像可快速低成本的实现对核酸及蛋白的相...(电子器件在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2...(电子器件在正文或附件中)

热等静压炉1台用于金属材料类、碳纤维材料成型技术研究要求最高工作压力：200MPa；最高工作温度：1...(电子器件在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2...(电子器件在正文或附件中)

对热晶体的全球研究进展提供专题知识产权分析服务。光电子器件的隔热和热管理问题是光电子器件和系统发展的...(电子器件在正文或附件中)

各区生态环境局、中国（上海）自由贸易试验区管理委员会保税区管理局、中国（上海）自由贸易试验区管理委员...(电子器件在正文或附件中)

用于源/漏超浅结的制备和器件研制要求具有超低能、高束流离子注入功能本次购置的等离子体浸没式离子注入机...(电子器件在正文或附件中)

本项目拟采购1套微纳力学测试及操纵系统。该系统包括六轴超高精度样品操纵台具有角分辨能力的光电子能谱测...(电子器件在正文或附件中)

主要用来升级替换老旧设备来满足所级平台对集成电路关键材料验证与微电子、光电子器件制备过程中的低电阻率...(电子器件在正文或附件中)

离子束刻蚀以离子束为刻蚀手段达到刻蚀目的的技术其分辨率限制于粒子进入基底以及离子能量耗尽过程的路径范...(电子器件在正文或附件中)

在微纳器件加工过程中实现高精度图形化制备的前提就是拥有一台高性能的光刻机用以制备高精度的光刻胶掩膜层...(电子器件在正文或附件中)