广东化学气相沉积招标预告

拟采购(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：低压化学气相沉积二氧化硅炉管 标的数量：1 主要功能或目标：低压化学气相沉积二...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：低压化学气相沉积二氧化硅炉管 标的数量：1 主要功能或目标：低压化学气相沉积二...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：低压化学气相沉积二氧化硅炉管 标的数量：1 主要功能或目标：低压化学气相沉积二...(化学气相沉积在正文或附件中)

提供对已有的化学气相沉积设备进行年度维护和保养服务。(化学气相沉积在正文或附件中)

等离子体增强化学气相沉积-介质（SiO2&Si）：数量：2台。在光电子芯片研发平台中主要用于...(化学气相沉积在正文或附件中)

设备名称：化学气相沉积系统(化学气相沉积在正文或附件中)

等离子体增强化学气相沉积（1台）：最大样品尺寸8英寸向下兼容小尺寸样品；采用CCP-CVD(电容耦合...(化学气相沉积在正文或附件中)

1(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：采购镀膜设备---低压化学气相沉积设备项目 标的数量：1 主要功能或目标：主要...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：采购镀膜设备---低压化学气相沉积设备项目 标的数量：1 主要功能或目标：主要...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：采购镀膜设备---低压化学气相沉积设备项目 标的数量：1 主要功能或目标：主要...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：货物 标的数量：1 主要功能或目标：可实现电弧离子镀、磁控溅射、等离子增强化学...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：货物 标的数量：1 主要功能或目标：可实现电弧离子镀、磁控溅射、等离子增强化学...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：货物 标的数量：1 主要功能或目标：可实现电弧离子镀、磁控溅射、等离子增强化学...(化学气相沉积在正文或附件中)

拟采购金属有机化合物化学气相沉积仪1台配置参数包括：1.III-V族气源分别经过独立通道进入反应腔腔...(化学气相沉积在正文或附件中)

拟购置感应耦合等离子体增强化学气相沉积仪一套配置参数包括：1.晶圆尺寸：8(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：低压化学气相沉积设备（多晶硅沉积） 标的数量：1 主要功能或目标：用加热的方式...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：低压化学气相沉积设备（多晶硅沉积） 标的数量：1 主要功能或目标：用加热的方式...(化学气相沉积在正文或附件中)

沉积高性能薄膜材料；1台(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：等离子体增强化学气相沉积 标的数量：1 主要功能或目标：沉积高性能薄膜材料； ...(化学气相沉积在正文或附件中)

金属有机化学气相沉积仪采购项目46000000元(化学气相沉积在正文或附件中)

等离子体增强化学气相沉积1台/套。(化学气相沉积在正文或附件中)

拟采购金属有机物化学气相沉积仪一套配置包括：1、(化学气相沉积在正文或附件中)

集成式三温区化学气相沉积系统是一种高温真空外延设备。它广泛用于多组份材料的外延生长特别是新型集成光电...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：晶圆键合机 标的数量：1 主要功能或目标：实现多层硅、硅-玻璃键合主要用于双层、多层硅键合...(化学气相沉积在正文或附件中)

标的名称：晶圆键合机 标的数量：1 主要功能或目标：实现多层硅、硅-玻璃键合主要用于双层、多层硅键合...(化学气相沉积在正文或附件中)

拟采购的两台低压化学气相沉积系统将主要用于超低损耗氮化硅光子集成芯片和其它光量子集成芯片的工艺开发和...(化学气相沉积在正文或附件中)

拟采购的两台多工艺应用卧式晶圆批量处理系统将主要用于超低损耗氮化硅光子集成芯片和其它光量子集成芯片的...(化学气相沉积在正文或附件中)

广东中科半导体微纳制造技术研究院技术研究院低压化学气相沉积设备采购项目采购需求征求意见公告 ...(化学气相沉积在正文或附件中)